Владимир Бахрушин » Публикация
Поделиться публикацией:
Опубликовано
2001-06-27
Опубликовано на SciPeople2013-04-30 13:46:20
Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций
Бахрушин В.Е. Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций. - Запорожье: ГУ "ЗИГМУ", 2001.- 247 с.
Аннотация
Рассмотрены особенности поведения примесей в монокристаллах кремния, основные механизмы формирования, физические свойства и структурное совершенство слаболегированных слоев кремниевых эпитаксиальных композиций.
Монография_2001.pdf
4,4 Mb
Показать статистику 
